紫外线中波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线，被广泛用于净水厂、医院、工厂无尘车间的空气杀菌、处理甲醛等领域。过去，很多深紫外线光源采用水银灯，但联合国去年组织各方签订的《水俣公约》规定要大幅限制水银的使用，所以有必要开发替代光源。

　　深紫外线LED制造成光源就可以用来替代水银紫外荧光灯灯，但是过去制作深紫外线LED光源要用昂贵的蓝宝石做基板，其高昂成本限制了普及程度。立命馆大学高级研究员青柳克信等人报告说，可以利用廉价的硅酮取代蓝宝石作为基板，可大幅度削减成本。

　　此外，过去的工艺中为了让电流通过，需要剥离基板上的一部分绝缘层。新方法是在硅酮基板上附着一层氮化铝作为绝缘体，然后在上面开出多个微孔让电流通过。这样做无需剥离绝缘层，大幅缩短了工序，以前需要5天的制作工作可以缩短到1天，而且避免了剥离绝缘层时对LED的损伤，发光效率也得到提高。